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基于檢流計(jì)的掃描使用由伺服控制電機(jī)和定位驅(qū)動(dòng)器構(gòu)成的組件調(diào)節(jié)檢流計(jì)振鏡。反射鏡的角度受到系統(tǒng)的嚴(yán)格控制,也可以通過(guò)外部信號(hào)控制,以便準(zhǔn)確定位和掃描,靈活性高,適合用戶(hù)定義的掃描線(xiàn)和掃描區(qū)域。振鏡掃描儀的速度上限由于慣性會(huì)比較低。
雖然共振掃描也使用了檢流計(jì)振鏡,但掃描方法截然不同。與音叉類(lèi)似,反射鏡組件以共振頻率被驅(qū)動(dòng),以達(dá)到比振鏡掃描快10倍以上的掃描速度。共振檢流計(jì)振鏡的速度隨著掃描角度呈正弦變化,以便在掃描過(guò)程中保持平滑的運(yùn)動(dòng),從而使視場(chǎng)邊緣的停留時(shí)間更長(zhǎng),而掃描中心處的停留時(shí)間更短。 這種效果加上共振掃描儀固定的中心位置和頻率導(dǎo)致其無(wú)法掃描復(fù)雜圖案或調(diào)整掃描速度。共振掃描反射鏡唯一的用戶(hù)可變參數(shù)是最大掃描角度。
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